即就遍计所执性、依他起性、圆成实性等三性行唯识之观。又作三性观行、唯识观、唯识心定。为显唯识之实性，成唯识论卷九遂就三性立真妄、真俗之二种相对；即遍计为虚妄之唯识性，依他为世俗之唯识性，圆成为真实之唯识性。即如唯识二十论述记卷上所释，遍计所执性为虚妄之唯识；依他起性为非有似有，乃因缘所生，故为因缘之唯识，即识之相；圆成实性为真实之唯识，即识之性。所观之境的三性既通三种唯识性，故称唯识三性观。修此唯识三性观，自浅至深有五重，称为五重唯识观，即：(一)遣虚存实识，即观虚妄遣去所执，存留依他、圆成二性之实，此乃虚实相对之观法。(二)舍滥留纯识，乃心境相对之观法。(三)摄末归本识，乃体用相对之观法。(四)隐劣显胜识，乃心心所相对之观法。(五)遣相证性识，乃事理相对，唯识观之至极。（参阅‘三性’563、‘五重唯识’1123）