真言行者菩提心一念之功德有六种位别，称为六无畏。即真言行者于地前三劫所得之利益。无畏，安稳苏息之义，此六处为行者再生苏息之处，故称六无畏。即：(一)善无畏，行十善业，止十不善业，常生于人天，远离三途之苦，为第一苏息处。即真言行者依三密之行而供养本尊之位。(二)身无畏，修循身观等，不生贪爱，于己身离诸扼缚，为第二苏息处。即真言行者依有相之观行，本尊之众相现前之位。(三) 无我无畏，了知我乃取蕴之积集，求之不可得，离我之扼缚，为第三苏息处。即真言行者于瑜伽境界之一切分段中，观心不可得，不生爱慢之位。(四)法无畏，观察诸蕴即空，远离诸蕴之扼缚，为第四苏息处。即真言行者于瑜伽境界如镜像水月，观无性无生之位。(五)法无我无畏，观察法无我性，觉了本不生之理，远离法之扼缚，为第五苏息处。即真言行者于瑜伽道中得心自在之位。(六)一切法自性平等无畏，观自心毕竟空性，我、蕴、法及无缘等皆同一性，即了知自性无性而生空智，远离有为无为界之二种扼缚，为第六苏息处。即真言行者观心实际，住虚空无垢菩提心之位。此六无畏配以三劫，前四者乃初劫之位，第五为第二劫之位，第六为第三劫之位。唯三劫乃就所度之三妄执（粗、细、极细）而立，六无畏则就能度之净菩提心而说。［大日经卷一住心品、大日经疏卷三、真言名目、大日经疏钞卷一、秘宗教相钞卷五］